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化学气相淀积反应器中成核与成膜控制

李春忠 胡黎明 袁渭康 陈敏恒

化工学报1993，Vol.44Issue(5)：P.523-530,8.
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化工学报1993，Vol.44Issue(5)：P.523-530,8.

化学气相淀积反应器中成核与成膜控制

李春忠 1胡黎明 1袁渭康 1陈敏恒1

作者信息

  • 1. 华东化工学院技术化学物理研究所,上海200237
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摘要

关键词

气相淀积/粒度/薄膜/反应器/气溶胶

分类

化学化工

引用本文复制引用

李春忠,胡黎明,袁渭康,陈敏恒..化学气相淀积反应器中成核与成膜控制[J].化工学报,1993,44(5):P.523-530,8.

基金项目

国家自然科学基金资助项目 （）

化工学报

OA北大核心CSCD

0438-1157

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