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光栅干涉仪的运动误差原理

郝德阜

光学机械Issue(5)：46-50,5.
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光学机械Issue(5)：46-50,5.

光栅干涉仪的运动误差原理

郝德阜1

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摘要

关键词

光栅干涉仪/运动误差/原理/干涉仪

分类

机械制造

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郝德阜..光栅干涉仪的运动误差原理[J].光学机械,1990,(5):46-50,5.

光学机械

1004-8081

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