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BaTiO3薄膜的MOCVD方法制备及进展

孙一军 张良莹

硅酸盐通报1998，Vol.17Issue(2)：34-38,5.
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硅酸盐通报1998，Vol.17Issue(2)：34-38,5.

BaTiO3薄膜的MOCVD方法制备及进展

孙一军 1张良莹1

作者信息

  • 1. 西安交通大学精细功能电子材料与器件国家专业实验室
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摘要

关键词

MOCVD/进展/钛酸钡薄膜/薄膜

分类

化学化工

引用本文复制引用

孙一军,张良莹..BaTiO3薄膜的MOCVD方法制备及进展[J].硅酸盐通报,1998,17(2):34-38,5.

硅酸盐通报

OACSCD

1001-1625

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