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半导体硅材料的高速发展

万群

世界有色金属Issue(10)：P.10-13,4.
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世界有色金属Issue(10)：P.10-13,4.

半导体硅材料的高速发展

万群1

作者信息

  • 1. 北京有色金属研究总院
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摘要

关键词

半导体材料/硅片

分类

信息技术与安全科学

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万群..半导体硅材料的高速发展[J].世界有色金属,1996,(10):P.10-13,4.

世界有色金属

1002-5065

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