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一种基于微分干涉原理的光学形貌仪
一种基于微分干涉原理的光学形貌仪
高宏
薛实福
李庆祥
严普强
计量学报
1992，Vol.13
Issue(2)：P.110-113,4.
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计量学报
1992，Vol.13
Issue(2)
：P.110-113,4.
一种基于微分干涉原理的光学形貌仪
高宏
1
薛实福
1
李庆祥
1
严普强
1
作者信息
1.
清华大学精密仪器系,北京100081
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摘要
关键词
光学形貌仪
/
显微镜
/
微分
/
干涉仪
分类
机械制造
引用本文
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高宏,薛实福,李庆祥,严普强..一种基于微分干涉原理的光学形貌仪[J].计量学报,1992,13(2):P.110-113,4.
计量学报
OA
CSCD
ISSN：
1000-1158
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