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新颖光电子集成技术──异质半导体直接键合及其在器件研制中的应用

朱祖华 丁桂兰 陈抗生

高技术通讯1997，Vol.7Issue(9)：P.59-62,5.
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高技术通讯1997，Vol.7Issue(9)：P.59-62,5.

新颖光电子集成技术──异质半导体直接键合及其在器件研制中的应用

朱祖华 1丁桂兰 1陈抗生1

作者信息

  • 1. 浙江大学信息电子工程学系,杭州310027
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摘要

关键词

直接键合/异质半导体/光电子集成技术

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

朱祖华,丁桂兰,陈抗生..新颖光电子集成技术──异质半导体直接键合及其在器件研制中的应用[J].高技术通讯,1997,7(9):P.59-62,5.

基金项目

国家自然科学基金 （）

高技术通讯

OACSCD

1002-0470

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