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单晶金刚石膜与多晶金刚石膜的制备工艺及性能

李嘉 张战

硅酸盐学报1992，Vol.20Issue(4)：387-392,6.
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硅酸盐学报1992，Vol.20Issue(4)：387-392,6.

单晶金刚石膜与多晶金刚石膜的制备工艺及性能

李嘉 1张战1

作者信息

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摘要

关键词

微波等离子/化学气相沉积/金刚石膜

分类

化学化工

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李嘉,张战..单晶金刚石膜与多晶金刚石膜的制备工艺及性能[J].硅酸盐学报,1992,20(4):387-392,6.

基金项目

国家"863"资助项目 （）

硅酸盐学报

OA北大核心CSCD

0454-5648

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