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非晶硅磷掺杂效率分析的新方法

曾云 颜永红 曾健平

湖南大学学报：自然科学版1996，Vol.23Issue(2)：P.22-24,3.
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湖南大学学报：自然科学版1996，Vol.23Issue(2)：P.22-24,3.

非晶硅磷掺杂效率分析的新方法

曾云 1颜永红 1曾健平1

作者信息

  • 1. 湖南大学应用物理系
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摘要

关键词

非晶硅/掺杂效率/磷

分类

数理科学

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曾云,颜永红,曾健平..非晶硅磷掺杂效率分析的新方法[J].湖南大学学报：自然科学版,1996,23(2):P.22-24,3.

湖南大学学报：自然科学版

OACSCD

1674-2974

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