大连理工大学学报1995，Vol.35Issue(3)：P.317-320,4.
动态混合高结合力超厚TiN膜
龙振湖 1任春生 1闫坤 1郭宝海 1李有宏 1张庆瑜 1薛恒春 1潘曼云1
作者信息
- 1. 三束材料改性国家重点实验室大连理工大学分部,北京航空航天部十三所
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摘要
关键词
沉积/膜/等离子体/离子注入/氮化钛分类
矿业与冶金引用本文复制引用
龙振湖,任春生,闫坤,郭宝海,李有宏,张庆瑜,薛恒春,潘曼云..动态混合高结合力超厚TiN膜[J].大连理工大学学报,1995,35(3):P.317-320,4.
