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多晶硅场发射源的发射特性及制备

赵月英

发光快报Issue(6)：45-47,3.
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发光快报Issue(6)：45-47,3.

多晶硅场发射源的发射特性及制备

赵月英1

作者信息

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摘要

关键词

多晶硅/场发射源/光刻工艺

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

赵月英..多晶硅场发射源的发射特性及制备[J].发光快报,1995,(6):45-47,3.

发光快报

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