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在室温下用射频等离子体化学蒸汽沉积法沉积类金刚石薄膜

奚定平

深圳大学学报：理工版1991，Vol.8Issue(1)：8-12,5.
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深圳大学学报：理工版1991，Vol.8Issue(1)：8-12,5.

在室温下用射频等离子体化学蒸汽沉积法沉积类金刚石薄膜

奚定平1

作者信息

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摘要

关键词

等离子体/化学蒸汽沉积/薄膜

分类

数理科学

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奚定平..在室温下用射频等离子体化学蒸汽沉积法沉积类金刚石薄膜[J].深圳大学学报：理工版,1991,8(1):8-12,5.

深圳大学学报：理工版

1000-2618

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