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华东化工学院学报
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立式冷壁反应器中化学气相淀积TiN涂层
立式冷壁反应器中化学气相淀积TiN涂层
丁平
盛明慧
华东化工学院学报
1990，Vol.16
Issue(3)：255-260,6.
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华东化工学院学报
1990，Vol.16
Issue(3)
：255-260,6.
立式冷壁反应器中化学气相淀积TiN涂层
丁平
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盛明慧
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关键词
化学气相淀积
/
氮化钛
/
涂层
/
反应器
分类
化学化工
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丁平,盛明慧..立式冷壁反应器中化学气相淀积TiN涂层[J].华东化工学院学报,1990,16(3):255-260,6.
华东化工学院学报
OA
CSCD
ISSN：
0253-9683
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