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薄膜型TMA气体传感器的研制

管玉国 戴国瑞 南金 朱勇

传感技术学报1997，Vol.10Issue(4)：P.38-43,6.
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传感技术学报1997，Vol.10Issue(4)：P.38-43,6.

薄膜型TMA气体传感器的研制

管玉国 1戴国瑞 1南金 1朱勇1

作者信息

  • 1. 吉林大学电子工程系
  • 折叠

摘要

关键词

气体传感器/TMA气体/表面修饰/传感器/敏感器件

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

管玉国,戴国瑞,南金,朱勇..薄膜型TMA气体传感器的研制[J].传感技术学报,1997,10(4):P.38-43,6.

传感技术学报

OACSCD

1004-1699

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