|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|西安电子科技大学学报|IC丢失物缺陷粒径的表征及其轮廓的分形特征

IC丢失物缺陷粒径的表征及其轮廓的分形特征

姜晓鸿 郝跃

西安电子科技大学学报1997，Vol.24Issue(4)：459-462,472,5.
✕
西安电子科技大学学报1997，Vol.24Issue(4)：459-462,472,5.

IC丢失物缺陷粒径的表征及其轮廓的分形特征

姜晓鸿 1郝跃1

作者信息

  • 1. 西安电子科技大学微电子所
  • 折叠

摘要

关键词

集成电路/丢失物缺陷/分形/制造工艺

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

姜晓鸿,郝跃..IC丢失物缺陷粒径的表征及其轮廓的分形特征[J].西安电子科技大学学报,1997,24(4):459-462,472,5.

基金项目

"863"高科技项目和军事预研项目资助 （）

西安电子科技大学学报

OA北大核心CSCD

1001-2400

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文