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硅片抗弯强度测试方法中小挠度问题研究

谢书银 石志仪

中南工业大学学报1996，Vol.27Issue(2)：P.231-233,3.
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中南工业大学学报1996，Vol.27Issue(2)：P.231-233,3.

硅片抗弯强度测试方法中小挠度问题研究

谢书银 1石志仪1

作者信息

  • 1. 中南工业大学应用物理与热能工程系
  • 折叠

摘要

关键词

抗弯强度/小挠度/硅片/测试法

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

谢书银,石志仪..硅片抗弯强度测试方法中小挠度问题研究[J].中南工业大学学报,1996,27(2):P.231-233,3.

基金项目

国家技术监督局资助 （）

中南工业大学学报

OA北大核心CSCD

1005-9792

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