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沈阳工业大学学报
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悬浮于气体的超微粒子的动力学行为和超微粒子膜
悬浮于气体的超微粒子的动力学行为和超微粒子膜
金寿日
沈阳工业大学学报
1993，Vol.15
Issue(2)：23-30,8.
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沈阳工业大学学报
1993，Vol.15
Issue(2)
：23-30,8.
悬浮于气体的超微粒子的动力学行为和超微粒子膜
金寿日
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摘要
关键词
气体
/
膜
/
超微粒子
/
气相沉积法
分类
通用工业技术
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金寿日..悬浮于气体的超微粒子的动力学行为和超微粒子膜[J].沈阳工业大学学报,1993,15(2):23-30,8.
沈阳工业大学学报
ISSN：
1000-1646
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