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材料科学与工程
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硅液相外延的溶剂选择
硅液相外延的溶剂选择
江鉴
张仕国
材料科学与工程
1996,Vol.14
Issue(2):P.55-57,3.
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材料科学与工程
1996,Vol.14
Issue(2)
:P.55-57,3.
硅液相外延的溶剂选择
江鉴
1
张仕国
1
作者信息
1.
浙江大学,杭州310027
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摘要
关键词
硅液相外延
/
溶剂
分类
信息技术与安全科学
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江鉴,张仕国..硅液相外延的溶剂选择[J].材料科学与工程,1996,14(2):P.55-57,3.
材料科学与工程
ISSN:
1004-793X
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