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硅液相外延的溶剂选择

江鉴 张仕国

材料科学与工程1996,Vol.14Issue(2):P.55-57,3.
材料科学与工程1996,Vol.14Issue(2):P.55-57,3.

硅液相外延的溶剂选择

江鉴 1张仕国1

作者信息

  • 1. 浙江大学,杭州310027
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摘要

关键词

硅液相外延/溶剂

分类

信息技术与安全科学

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江鉴,张仕国..硅液相外延的溶剂选择[J].材料科学与工程,1996,14(2):P.55-57,3.

材料科学与工程

1004-793X

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