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类金刚石碳膜的复合硬度与本征硬度的研究

匡同春 刘正义

理化检验：物理分册1998，Vol.34Issue(2)：P.5-9,5.
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理化检验：物理分册1998，Vol.34Issue(2)：P.5-9,5.

类金刚石碳膜的复合硬度与本征硬度的研究

匡同春 1刘正义2

作者信息

  • 1. 广东工业大学,广州510090
  • 2. 华南理工大学,广州510641
  • 折叠

摘要

关键词

类金刚石碳膜/复合硬度/本征硬度/薄膜/涂层

分类

数理科学

引用本文复制引用

匡同春,刘正义..类金刚石碳膜的复合硬度与本征硬度的研究[J].理化检验：物理分册,1998,34(2):P.5-9,5.

理化检验：物理分册

1001-4012

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