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真空微电子技术

横尾邦义 高彦斌

真空电子技术Issue(1):29-32,4.
真空电子技术Issue(1):29-32,4.

真空微电子技术

横尾邦义 1高彦斌1

作者信息

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摘要

关键词

真空/微电子技术/真空IC

分类

信息技术与安全科学

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横尾邦义,高彦斌..真空微电子技术[J].真空电子技术,1990,(1):29-32,4.

真空电子技术

1002-8935

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