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多晶硅一维MIS结构光位敏探测器的研制

董会宁 颜其礼 陈卫东 潘飞躁 李鹏

四川师范大学学报：自然科学版1995，Vol.18Issue(6)：P.91-95,5.
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四川师范大学学报：自然科学版1995，Vol.18Issue(6)：P.91-95,5.

多晶硅一维MIS结构光位敏探测器的研制

董会宁 1颜其礼 1陈卫东 1潘飞躁 1李鹏1

作者信息

  • 1. 四川师范大学固体研究所,四川联合大学物理系
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摘要

关键词

多晶硅/光位敏探测器/半导体/退火

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

董会宁,颜其礼,陈卫东,潘飞躁,李鹏..多晶硅一维MIS结构光位敏探测器的研制[J].四川师范大学学报：自然科学版,1995,18(6):P.91-95,5.

四川师范大学学报：自然科学版

1001-8395

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