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渐变组分a—Si：H／a—SiC：H膜内部电场的研究

马瑾 陆大荣

无机材料学报1991，Vol.6Issue(2)：219-223,5.
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无机材料学报1991，Vol.6Issue(2)：219-223,5.

渐变组分a—Si：H／a—SiC：H膜内部电场的研究

马瑾 1陆大荣1

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摘要

关键词

a－Si：H/a－SiC：H/薄膜/渐变膜

分类

数理科学

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马瑾,陆大荣..渐变组分a—Si：H／a—SiC：H膜内部电场的研究[J].无机材料学报,1991,6(2):219-223,5.

无机材料学报

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