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退火对a—Si：H／a—SiNx：H多层膜光致发光和...

王树林 祁明维

无机材料学报1991，Vol.6Issue(4)：469-474,6.
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无机材料学报1991，Vol.6Issue(4)：469-474,6.

退火对a—Si：H／a—SiNx：H多层膜光致发光和...

王树林 1祁明维1

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摘要

关键词

氢化非晶硅/膜/光致发光/退火

分类

数理科学

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王树林,祁明维..退火对a—Si：H／a—SiNx：H多层膜光致发光和...[J].无机材料学报,1991,6(4):469-474,6.

无机材料学报

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