|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|电子学报|扫描探针显微镜的纳米尺度表面改性和微细加工技术

扫描探针显微镜的纳米尺度表面改性和微细加工技术

赵玉清 唐天同

电子学报1997，Vol.25Issue(8)：67-72,77,7.
✕
电子学报1997，Vol.25Issue(8)：67-72,77,7.

扫描探针显微镜的纳米尺度表面改性和微细加工技术

赵玉清 1唐天同1

作者信息

  • 1. 西安交通大学电信学院
  • 折叠

摘要

关键词

扫描探针技术/微细加工技术/集成电路

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

赵玉清,唐天同..扫描探针显微镜的纳米尺度表面改性和微细加工技术[J].电子学报,1997,25(8):67-72,77,7.

电子学报

OA北大核心CSCD

0372-2112

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文