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硅各向异性腐蚀中自动终止技术的研究

李跃进 朱作云

西安电子科技大学学报1991，Vol.18Issue(4)：112-117,6.
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西安电子科技大学学报1991，Vol.18Issue(4)：112-117,6.

硅各向异性腐蚀中自动终止技术的研究

李跃进 1朱作云1

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摘要

关键词

硅/硅膜/各向异性/腐蚀/终止技术

分类

信息技术与安全科学

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李跃进,朱作云..硅各向异性腐蚀中自动终止技术的研究[J].西安电子科技大学学报,1991,18(4):112-117,6.

西安电子科技大学学报

1001-2400

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