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用深能级瞬态谱技术研究MOS结构界面态的结构

沈桂芬 高嵩

辽宁大学学报：自然科学版1993，Vol.20Issue(2)：37-43,7.
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辽宁大学学报：自然科学版1993，Vol.20Issue(2)：37-43,7.

用深能级瞬态谱技术研究MOS结构界面态的结构

沈桂芬 1高嵩1

作者信息

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摘要

关键词

深能级瞬态谱/界面态/MOS结构

分类

信息技术与安全科学

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沈桂芬,高嵩..用深能级瞬态谱技术研究MOS结构界面态的结构[J].辽宁大学学报：自然科学版,1993,20(2):37-43,7.

辽宁大学学报：自然科学版

1000-5846

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