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相移干涉显微镜中移相误差分析

丁志华 王桂英 王之江

计量学报1995，Vol.16Issue(4)：P.262-268,7.
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计量学报1995，Vol.16Issue(4)：P.262-268,7.

相移干涉显微镜中移相误差分析

丁志华 1王桂英 1王之江1

作者信息

  • 1. 中国科学院上海精密光学机械研究所
  • 折叠

摘要

关键词

移相术/相移干涉显微镜/检测/精度/显微镜

分类

机械制造

引用本文复制引用

丁志华,王桂英,王之江..相移干涉显微镜中移相误差分析[J].计量学报,1995,16(4):P.262-268,7.

基金项目

中国科学院重大课题 （）

计量学报

OACSCD

1000-1158

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