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金刚石薄膜外延生长温度与外延膜品质的研究

张战 马丽莹

磨料磨具与磨削Issue(1)：2-6,5.
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磨料磨具与磨削Issue(1)：2-6,5.

金刚石薄膜外延生长温度与外延膜品质的研究

张战 1马丽莹1

作者信息

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摘要

关键词

金刚石/薄膜/外延生长/CVD

分类

矿业与冶金

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张战,马丽莹..金刚石薄膜外延生长温度与外延膜品质的研究[J].磨料磨具与磨削,1993,(1):2-6,5.

基金项目

国家高技术发展计划新材料领域研究子课题 （）

磨料磨具与磨削

OA北大核心

1001-442X

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