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一种微加工制成的超薄膜气体探测器

段振新

现代科技译丛（哈尔滨）Issue(3)：53-58,6.

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现代科技译丛（哈尔滨）Issue(3)：53-58,6.

一种微加工制成的超薄膜气体探测器

段振新¹

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摘要

关键词

气体探测器/超薄膜/气体分析仪

分类

机械制造

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段振新..一种微加工制成的超薄膜气体探测器[J].现代科技译丛（哈尔滨）,1995,(3):53-58,6.

现代科技译丛（哈尔滨）

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