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离子束蚀刻固体表面形貌发展研究

张建民

陕西师大学报：自然科学版1989，Vol.17Issue(3)：20-24,5.
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陕西师大学报：自然科学版1989，Vol.17Issue(3)：20-24,5.

离子束蚀刻固体表面形貌发展研究

张建民1

作者信息

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摘要

关键词

离子束蚀刻/固体表面/蚀刻速率

分类

数理科学

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张建民..离子束蚀刻固体表面形貌发展研究[J].陕西师大学报：自然科学版,1989,17(3):20-24,5.

陕西师大学报：自然科学版

1001-3857

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