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硅四端型膜片式压力传感器的优化设计与分析

李乃平 刘三清

华中理工大学学报1989，Vol.17Issue(3)：63-69,7.
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华中理工大学学报1989，Vol.17Issue(3)：63-69,7.

硅四端型膜片式压力传感器的优化设计与分析

李乃平 1刘三清1

作者信息

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摘要

关键词

硅四端型/膜片式/压力传感器

分类

信息技术与安全科学

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李乃平,刘三清..硅四端型膜片式压力传感器的优化设计与分析[J].华中理工大学学报,1989,17(3):63-69,7.

基金项目

国家自然科学基金赞助课题 （）

华中理工大学学报

1000-8616

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