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真空紫外空阴极气体放电光源

陈波

光学机械Issue(6)：10-16,7.
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光学机械Issue(6)：10-16,7.

真空紫外空阴极气体放电光源

陈波1

作者信息

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摘要

关键词

气体放电光源/真空紫外/光源

分类

信息技术与安全科学

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陈波..真空紫外空阴极气体放电光源[J].光学机械,1989,(6):10-16,7.

光学机械

1004-8081

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