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掺硼多晶硅的远红外光谱

陈辰嘉 Borgh.,A

红外研究1989，Vol.8Issue(5)：321-326,6.
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红外研究1989，Vol.8Issue(5)：321-326,6.

掺硼多晶硅的远红外光谱

陈辰嘉 1Borgh.,A1

作者信息

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摘要

关键词

多晶硅/远红外光谱/硼

分类

信息技术与安全科学

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陈辰嘉,Borgh.,A..掺硼多晶硅的远红外光谱[J].红外研究,1989,8(5):321-326,6.

红外研究

OACSCD

0258-7114

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