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SnO2薄膜的化学气相淀积：I.SnO2薄膜的制备过程动力学

姚光辉 韩杰

华东化工学院学报1990，Vol.16Issue(3)：245-249,5.
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华东化工学院学报1990，Vol.16Issue(3)：245-249,5.

SnO2薄膜的化学气相淀积：I.SnO2薄膜的制备过程动力学

姚光辉 1韩杰1

作者信息

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摘要

关键词

二氧化锡/薄膜/化学气相淀积

分类

化学化工

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姚光辉,韩杰..SnO2薄膜的化学气相淀积：I.SnO2薄膜的制备过程动力学[J].华东化工学院学报,1990,16(3):245-249,5.

华东化工学院学报

OACSCD

0253-9683

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