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硅晶体中离子注入应力的红外光弹性测量及研究

蒋连生 赵寿南 梁汉成

红外研究1990，Vol.9Issue(6)：P.425-429,5.
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红外研究1990，Vol.9Issue(6)：P.425-429,5.

硅晶体中离子注入应力的红外光弹性测量及研究

蒋连生 1赵寿南 1梁汉成1

作者信息

  • 1. 华南理工大学物理系,广东广州510641
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摘要

关键词

晶体/硅/离子注入/应力/红外光弹性

分类

数理科学

引用本文复制引用

蒋连生,赵寿南,梁汉成..硅晶体中离子注入应力的红外光弹性测量及研究[J].红外研究,1990,9(6):P.425-429,5.

基金项目

国家自然科学基金资助课题 （）

红外研究

OACSCD

0258-7114

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