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真空电弧离子镀蒸发源结构及其设计

黄锡森

机械制造与自动化Issue(1)：6-9,35,5.
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机械制造与自动化Issue(1)：6-9,35,5.

真空电弧离子镀蒸发源结构及其设计

黄锡森1

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摘要

关键词

真空电弧/离子镀/蒸发源/结构/设计

分类

矿业与冶金

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黄锡森..真空电弧离子镀蒸发源结构及其设计[J].机械制造与自动化,1991,(1):6-9,35,5.

机械制造与自动化

1671-5276

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