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CCD器件几何尺寸的一种高精度的测量方法

刘桂云 丛树强

光学机械Issue(3)：55-61,7.
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光学机械Issue(3)：55-61,7.

CCD器件几何尺寸的一种高精度的测量方法

刘桂云 1丛树强1

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摘要

关键词

CCD器件/几何尺寸/高精度/测量

分类

信息技术与安全科学

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刘桂云,丛树强..CCD器件几何尺寸的一种高精度的测量方法[J].光学机械,1991,(3):55-61,7.

光学机械

1004-8081

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