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Al—Cl—N—H体系化学气相淀积AIN粉末的热力学研究

李春忠 胡黎明

华东化工学院学报1992，Vol.18Issue(4)：530-535,6.
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华东化工学院学报1992，Vol.18Issue(4)：530-535,6.

Al—Cl—N—H体系化学气相淀积AIN粉末的热力学研究

李春忠 1胡黎明1

作者信息

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摘要

关键词

氮化铝/化学气相淀积

分类

化学化工

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李春忠,胡黎明..Al—Cl—N—H体系化学气相淀积AIN粉末的热力学研究[J].华东化工学院学报,1992,18(4):530-535,6.

华东化工学院学报

OACSCD

0253-9683

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