红外与毫米波学报1992,Vol.11Issue(2):P.139-144,6.
MOVPE生长GaAs/Al_xGa_(1-x)As超晶格及其TEM表征
徐现刚 1黄柏标 1任红文 1刘士文 1蒋民华1
作者信息
- 1. 山东大学晶体材料研究所,山东济南250100
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摘要
关键词
MOVPE/XTEM/半导体/砷化镓分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
徐现刚,黄柏标,任红文,刘士文,蒋民华..MOVPE生长GaAs/Al_xGa_(1-x)As超晶格及其TEM表征[J].红外与毫米波学报,1992,11(2):P.139-144,6.