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MOVPE生长GaAs/Al_xGa_(1-x)As超晶格及其TEM表征

徐现刚 黄柏标 任红文 刘士文 蒋民华

红外与毫米波学报1992,Vol.11Issue(2):P.139-144,6.
红外与毫米波学报1992,Vol.11Issue(2):P.139-144,6.

MOVPE生长GaAs/Al_xGa_(1-x)As超晶格及其TEM表征

徐现刚 1黄柏标 1任红文 1刘士文 1蒋民华1

作者信息

  • 1. 山东大学晶体材料研究所,山东济南250100
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摘要

关键词

MOVPE/XTEM/半导体/砷化镓

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

徐现刚,黄柏标,任红文,刘士文,蒋民华..MOVPE生长GaAs/Al_xGa_(1-x)As超晶格及其TEM表征[J].红外与毫米波学报,1992,11(2):P.139-144,6.

基金项目

国家自然科学基金 ()

红外与毫米波学报

OA北大核心CSCD

1001-9014

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