红外与毫米波学报1992,Vol.11Issue(2):P.103-107,5.
分子束外延生长Ge_xSi_(1-x)的原位俄歇定量分析
卫星 1周铁城 1杨小平 1俞鸣人 1张翔九 1盛篪 1王迅1
作者信息
- 1. 复旦大学表面物理实验室,上海200433
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摘要
关键词
分子束外延/俄歇电子谱/硅化锗分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
卫星,周铁城,杨小平,俞鸣人,张翔九,盛篪,王迅..分子束外延生长Ge_xSi_(1-x)的原位俄歇定量分析[J].红外与毫米波学报,1992,11(2):P.103-107,5.