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气相生长统一模型

王敬义 王宇

华中理工大学学报1993，Vol.21Issue(5)：6-10,5.
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华中理工大学学报1993，Vol.21Issue(5)：6-10,5.

气相生长统一模型

王敬义 1王宇1

作者信息

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摘要

关键词

薄膜生长/统一模型/气相生长

分类

数理科学

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王敬义,王宇..气相生长统一模型[J].华中理工大学学报,1993,21(5):6-10,5.

基金项目

国家自然科学基金资助项目 （）

华中理工大学学报

OA北大核心

1000-8616

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