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双栅绝缘层a-Si TFT研究
双栅绝缘层a-Si TFT研究
孟志国
代永平
莫希朝
周祯华
张建军
熊绍珍
液晶通讯
1993，Vol.1
Issue(3)：P.83-87,5.
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液晶通讯
1993，Vol.1
Issue(3)
：P.83-87,5.
双栅绝缘层a-Si TFT研究
孟志国
1
代永平
1
莫希朝
1
周祯华
1
张建军
1
熊绍珍
1
作者信息
1.
南开大学光电子所
折叠
摘要
关键词
TFT
/
双栅
/
迁移率
/
蚀刻
/
工作电流
/
成品率
/
性能
/
膜电阻
/
双层膜
/
矩阵
分类
数理科学
引用本文
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孟志国,代永平,莫希朝,周祯华,张建军,熊绍珍..双栅绝缘层a-Si TFT研究[J].液晶通讯,1993,1(3):P.83-87,5.
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