脉冲式XeCl激光辐照a－Si∶H膜诱导晶化的研究OA北大核心CSCD

作者：杜开瑛;莫敏

作者单位：

分类：信息技术与安全科学

中文关键词：氢化非晶硅脉冲激光晶化薄膜

刊名：《四川大学学报：自然科学版》 1994 (1)

页码/页数：P.57-63,7