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稀土钇提高离子镀TiN膜层与基体结合力的研究OA北大核心

中文摘要

研究了稀土钇不同含量时对离子镀TiN膜层与基体结合力的影响.用扫描电镜,俄歇谱仪,X射线衍射等手段,对加入稀土钇的TiN膜层作了分析。结果表明,加适量稀土钇后,TiN膜层与基体的结合力大大提高。其微观机制是,加稀土钇后,膜层相组成发生变化,在膜-基之间形成一过渡层,塑性相(Ti相)增加,脆性相(Ti2N)减少,从而减小了膜-基界面间的应力。此外,结果还表明,稀土钇能明显提高镀膜过程中钛料蒸发率,使成膜速率增加,在相同镀膜时间内TiN膜层加厚。

冯正;刘德浚;王少刚

南京航空航天大学材料科学与工程系南京航空航天大学材料科学与工程系南京航空航天大学材料科学与工程系

矿业与冶金

稀土元素离子镀结合力X射线谱钛氮膜层

《南京航空航天大学学报》 1994 (5)

P.658-663,6

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