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溅射用铁电陶瓷靶的烧结与显微结构分析

卢德新 刘兴阶 胡用时 李佐宜

华中理工大学学报1994，Vol.22Issue(3)：P.91-94,4.
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华中理工大学学报1994，Vol.22Issue(3)：P.91-94,4.

溅射用铁电陶瓷靶的烧结与显微结构分析

卢德新 1刘兴阶 1胡用时 1李佐宜1

作者信息

  • 1. 华中理工大学固体电子学系
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摘要

关键词

铁电陶瓷靶/液相烧结/显微结构

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

卢德新,刘兴阶,胡用时,李佐宜..溅射用铁电陶瓷靶的烧结与显微结构分析[J].华中理工大学学报,1994,22(3):P.91-94,4.

基金项目

863高科技基金 （）

华中理工大学学报

OA北大核心

1000-8616

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