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非晶硅的二步快速退火固相晶化

董会宁 杜开瑛 谢茂浓

四川大学学报：自然科学版1995，Vol.32Issue(1)：P.95-97,3.
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四川大学学报：自然科学版1995，Vol.32Issue(1)：P.95-97,3.

非晶硅的二步快速退火固相晶化

董会宁 1杜开瑛 1谢茂浓1

作者信息

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摘要

关键词

硅/非晶硅/退火/固相晶化

分类

化学化工

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董会宁,杜开瑛,谢茂浓..非晶硅的二步快速退火固相晶化[J].四川大学学报：自然科学版,1995,32(1):P.95-97,3.

基金项目

国家自然科学基金 （）

四川大学学报：自然科学版

OA北大核心CSCD

0490-6756

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