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宏观颗粒影响薄膜性能的机理分析

王浩 邹积岩 程礼椿 林金铭

华中理工大学学报1995，Vol.23Issue(10)：P.18-21,4.
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华中理工大学学报1995，Vol.23Issue(10)：P.18-21,4.

宏观颗粒影响薄膜性能的机理分析

王浩 1邹积岩 1程礼椿 1林金铭1

作者信息

  • 1. 华中理工大学电力工程系
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摘要

关键词

宏观颗粒/真空镀膜/薄膜/性能

分类

数理科学

引用本文复制引用

王浩,邹积岩,程礼椿,林金铭..宏观颗粒影响薄膜性能的机理分析[J].华中理工大学学报,1995,23(10):P.18-21,4.

基金项目

国家教委留学回国人员基金 （）

华中理工大学学报

OA北大核心

1000-8616

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