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微电子用聚酰亚胺亚胺化峰

应建华 吴正元 刘三清

华中理工大学学报1995，Vol.23Issue(3)：P.61-65,5.
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华中理工大学学报1995，Vol.23Issue(3)：P.61-65,5.

微电子用聚酰亚胺亚胺化峰

应建华 1吴正元 1刘三清1

作者信息

  • 1. 华中理工大学固体电子学系
  • 折叠

摘要

关键词

微电子学/聚酰亚胺/亚胺化/薄膜/集成电路

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

应建华,吴正元,刘三清..微电子用聚酰亚胺亚胺化峰[J].华中理工大学学报,1995,23(3):P.61-65,5.

华中理工大学学报

OA北大核心

1000-8616

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