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AlN和AlSiN薄膜的制备工艺及其光学特性

缪向水 胡用时 林更琪 李佐宜

华中理工大学学报1995，Vol.23Issue(A01)：P.185-188,4.
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华中理工大学学报1995，Vol.23Issue(A01)：P.185-188,4.

AlN和AlSiN薄膜的制备工艺及其光学特性

缪向水 1胡用时 1林更琪 1李佐宜1

作者信息

  • 1. 华中理工大学固体电子学系
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摘要

关键词

AlN/AlSiN/薄膜/溅射/光学性能

分类

数理科学

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缪向水,胡用时,林更琪,李佐宜..AlN和AlSiN薄膜的制备工艺及其光学特性[J].华中理工大学学报,1995,23(A01):P.185-188,4.

华中理工大学学报

OA北大核心

1000-8616

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