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激光双焦干涉球面微观轮廓仪

杨甬英 卓永模

现代科学仪器Issue(4)：36-48,40,14.
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现代科学仪器Issue(4)：36-48,40,14.

激光双焦干涉球面微观轮廓仪

杨甬英 1卓永模1

作者信息

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摘要

关键词

双焦透镜/共路干涉/轮廓仪

分类

机械制造

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杨甬英,卓永模..激光双焦干涉球面微观轮廓仪[J].现代科学仪器,1995,(4):36-48,40,14.

现代科学仪器

1003-8892

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