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离子束辅助沉积技术及其进展

傅永庆 朱晓东 徐可为 何家文

材料科学与工程1996，Vol.14Issue(3)：P.22-32,11.
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材料科学与工程1996，Vol.14Issue(3)：P.22-32,11.

离子束辅助沉积技术及其进展

傅永庆 1朱晓东 1徐可为 1何家文1

作者信息

  • 1. 西安交通大学
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摘要

关键词

离子束辅助沉积/薄膜

分类

通用工业技术

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傅永庆,朱晓东,徐可为,何家文..离子束辅助沉积技术及其进展[J].材料科学与工程,1996,14(3):P.22-32,11.

材料科学与工程

1004-793X

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